工具显微镜 STM-3020M
工具显微镜STM-3020M系列特点：
? 底座——铸铁基座保证整体稳定性。
? 光源——高亮度长寿命LED照明系统。
? 传动——采用无间隙丝杠传动载物台，保证测量精度。
? 导轨——采用德国线形高精度导轨。
? 调焦——特有粗、微调焦装置，微调每格1um。
? 载物台——高精度2.0+L/200um(L为测量长度）。
技术参数：
名称
工具显微镜
工具显微镜
型号
STM-2015M
STM-3020M
货号#
532-180
532-190
X ,Y轴坐标行程
200x150mm
300x200mm
分辨率
0.1um
锁紧装置
X-Y采用精密丝杠传动，工作台带快慢速锁紧装置，无回程误差产生
X/Y轴精度
(2+L/200) μm; L: 测量长度
镜筒
反像 (可选正像三目镜筒)
目镜
双目广角目镜WF10X/22mm
物镜
标配:5X,10X, 20X, 50X ; 可选: 100X
透射光源
可调LED光源
表面光源
可调LED光源
Z-轴行程
标配行程:150mm, 可选200mm行程
调焦方式
手动调焦 (粗调/微调)
数显表功能
清零, 方向置换
仪器电源
AC220/50HZ; AC110V/60Hz
可选附件
高精度旋转工作台 RT4(D:165mm), RT5(262mm)
数据处理器DP300
测量软件 QM2.0
0.5X适配镜和CCD相机
光学参数：
名称
物镜
目镜WF10/22
数值孔径
N.A.
有效工作距离
W.D.(mm)
焦距
f(mm)’
分辨率
R(um)
景深
±△p(um)
总放大倍数
物方视场
（mm）
5x
0.15
11.6
40
2.1
16.3
50x
￠4.4
10x
0.3
6.3
20
0.9
3.1
100x
￠2.2
20x
0.4
10.3
10
0.69
1.8
200x
￠1.1
50x
0.8
2
4
0.34
0.4
500x
￠0.44
100x
0.8
1.96
2
0.34
0.2
100x
￠0.22
CCD芯片
晶源观察
POG观察
IC封装
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